6點(diǎn)介紹INFICON電離真空計校準時(shí)需要注意的事項

電離真空計是基于在一定條件下，待測氣體的壓力與氣體電離產(chǎn)生的離子流呈正比關(guān)系的原理制作的真空測量?jì)x器。

由筒狀收集極，柵網(wǎng)和位于柵網(wǎng)中心的燈絲構成，筒狀收集極在柵網(wǎng)外面。熱陰極發(fā)射電子電離氣體分子，離子被收集極收集，根據收集的離子流大小來(lái)測量氣體壓強的真空計。

INFICON電離真空計的校準的注意事項

真空計按測量性質(zhì)可分為絕對真空計和相對真空計。所謂絕對真空計就是通過(guò)測量物理量本身確定壓力的一種真空計,例如u型壓力計、壓縮式真空計就是絕對真空計。通過(guò)測量與壓力有關(guān)的物理量并與絕對真空計比較來(lái)確定壓力的真空計稱(chēng)為相對真空計。我們校準的電離真空計、電容薄膜真空計、熱傳導真空計,都是相對真空計。

電離規管的結構為一個(gè)圓筒型三極管,它有三個(gè)電極:陰極f發(fā)射電子;柵極a加速電子,收集極c收集離子。一般陰極加零電位,柵極加正電位,收集極加負電位。它的優(yōu)點(diǎn)主要是能夠測量氣體與蒸氣的全壓強;反應迅速,可連續讀數和遠距離控制;量程寬,線(xiàn)性好,測量精度較高。缺點(diǎn)主要是在壓強高于10-1pa時(shí),容易氧化燈絲,一旦系統突然暴露大氣會(huì )燒壞規管;玻殼、電極的放氣導致測量的誤差。

校準電離真空計時(shí),應注意以下六點(diǎn):

（1）一般情況下,規管和系統連接時(shí),先將未開(kāi)封的規管和測量電路連接到一起試一下,檢查規管是否正常,然后再接到系統。

（2）在校準的過(guò)程中,如果出現故障,在原因不明的情況下,拿一支未開(kāi)封的規管試一下,判斷是規管的問(wèn)題,還是電路的問(wèn)題。如果換上未開(kāi)封的規管一切正常,說(shuō)明原規管有問(wèn)題;如果換上未開(kāi)封的規管仍然不正常,說(shuō)明電路有問(wèn)題,這樣就縮小了故障的范圍。

（3）規管安裝時(shí)應豎直安裝,否則在加熱除氣,烘烤時(shí)柵極和陰極產(chǎn)生變形,相對位置變化,將會(huì )嚴重影響測量精度。

（4）在開(kāi)燈絲前,判斷被測真空系統中的真空度確信小于10-1pa時(shí),才能開(kāi)燈絲,否則真空度太低,導致規管陰極氧化而燒毀。

（5）在讀數之前,應先調整好發(fā)射電流、零點(diǎn)及滿(mǎn)度。具體步驟是:發(fā)射電流—零點(diǎn)—滿(mǎn)度—發(fā)射電流。

（6）電離真空計只需要加電預熱10分鐘就可以校準了。

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